應用光電直讀光譜分析方法測定試樣中元素含量時，所得結果與真實含量通常是不一致，總是存在著一定的誤差。這里所講的誤差是指每次測量的數因，誤差可分為:系統(tǒng)誤差、偶然誤差和過失誤差3種。
(1)系統(tǒng)誤差也叫可測誤差，它是由于分析過程中某些經常發(fā)生的比較固定的原因所造成的，
它是可以通過測量而確定的誤差。通常系統(tǒng)誤差偏向一方，或偏高，或偏低。例如光譜標樣，經過足夠多次測量，發(fā)現分析結果平均值與該標樣證書上的含量值始終有一差距，這就產生一個固定誤差即系統(tǒng)誤差，系統(tǒng)誤差可以看作是對測定值的校正值，它決定了測定結果的準確度。
(2)偶然誤差是一種無規(guī)律性的誤差，又稱不可測誤差，或隨機誤差，它是由于某些偶然的因素(如測定環(huán)境的溫度、濕度、振動、灰塵、油污、噪音、儀器性能等的微小的隨機波動)所引起的，其性質是有時大，有時小，有時正，有時負，難以察覺，難以控制。它決定了測定結果的精密度。
(3)過失誤差是指分析人員工作中的操作失誤所得到的結果，沒有一定的規(guī)律可循，只能作為過失。不管造成過失誤差的具體原因如何，只要確知存在過失誤差，就將這一組測定值數據以異常值舍棄。
在光電直讀光譜分析過程中，從開始取樣到zui后出分析數據，是由若干個操作環(huán)節(jié)組成的，每一環(huán)節(jié)都產生一定的誤差。當無過失誤差時，光譜分析的總誤差主要是系統(tǒng)誤差和偶然誤差的總和，便決定了光電直讀光譜分析方法的正確度。分析正確度包含二方面內容:正確性和再現性。正確性表示分析結果與真實含量的接近程度，系統(tǒng)誤差小，正確性高。再現性(精密度)表示多次分析結果的離散程差和偶然誤差或系統(tǒng)誤差和偶然誤差都很小時，精密度就等于正確度。
